3D optični mikroskop - Bruker - ContourGT-K0
- Način delovanja: interferometrija z belo ali zeleno svetlobo
- Območje skeniranja (X-Y: površina): 30 mm x 30 mm
- Območje skeniranja (Z: višina): 10 mm
- Ločljivost: lateralno - 380 nm; vertikalno - 0.1 nm
- Avtomatsko združevanje slik za večje vzorce
- Analiza: 2D in 3D topografija površin, parametri hrapavosti, obrabni volumni, prenosni filmi, ...